EX3自動(dòng)橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）測量原理，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動(dòng)測量型教學(xué)儀器。與EM22儀器相比，該儀器采用半導(dǎo)體激光器作為光源，穩(wěn)定性好，體積更小。

EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測量。

EX3儀器還可用于同時(shí)測量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點(diǎn):

經(jīng)典消光法橢偏測量原理

儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

方便安全的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

集成一體化設(shè)計(jì)，簡潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便儀器使用。

高穩(wěn)定性光源

采用半導(dǎo)體激光器作為探測光的光源，穩(wěn)定性高，噪聲低。

豐富實(shí)用的樣品測量功能

可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復(fù)折射率等。

便捷的自動(dòng)化操作

儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測量，并可進(jìn)行方便的測量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作。

安全的用戶使用權(quán)限管理

軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

可擴(kuò)展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當(dāng)擴(kuò)展，完成多項(xiàng)偏振測量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測量實(shí)、旋光等。

應(yīng)用領(lǐng)域:

EX3適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX3可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標(biāo):