EX2自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動測量型教學(xué)儀器。

EX2儀器適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。

EX2儀器還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點

經(jīng)典消光法橢偏測量原理

儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

方便安全的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

集成一體化設(shè)計，簡潔的儀器外形通過USB接口與計算機相連，方便使用。

高準確性的激光光源

采用激光作為探測光波，測量波長準確度高。

豐富實用的樣品測量功能

可測量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過率。

便捷的自動化操作

儀器軟件可自動完成樣品測量，并可進行方便的測量數(shù)據(jù)分析、儀器校準等操作。

安全的用戶使用權(quán)限管理

軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員、操作者等模式），便于儀器管理和使用。

可擴展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。

應(yīng)用

EX2適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX2可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域。

技術(shù)指標