ETSys-Map-PV是針對(duì)高端薄膜太陽電池研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域中大面積樣品檢測專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測量系統(tǒng)。

ETSys-Map-PV用于對(duì)1.4m * 1.1m及以上的大面積薄膜太陽電池樣品進(jìn)行在線檢測?？蓽y量光滑平面或粗糙表面基底上的納米薄膜，包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k；并可同時(shí)測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k?？蓽y量樣品上區(qū)域的樣品參數(shù)以及樣品表面的均一性分布。

ETSys-Map-PV融合量拓科技在高精度激光橢偏儀及光伏在太陽能電池領(lǐng)域的技術(shù)和產(chǎn)品設(shè)計(jì)方面的經(jīng)驗(yàn)。

特點(diǎn):

大面積絨面樣品上全表面測量

可對(duì)大面積絨面薄膜太陽電池樣品上各點(diǎn)的性質(zhì)進(jìn)行分析和比較。光能量增強(qiáng)技術(shù)、低噪聲的探測器件以及高信噪比的微弱信號(hào)處理方法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)粗糙表面散射為主和反射率為特征的絨面太陽電池表面鍍層的高靈敏檢測。

微米量的全面積掃描精度

系統(tǒng)設(shè)計(jì)，能夠使探頭到達(dá)樣品上每個(gè)點(diǎn)，掃描精度達(dá)到微米量。

原子層量的膜厚分析精度

采用非接觸、無破壞性的橢偏測量技術(shù)，對(duì)納米薄膜達(dá)到的測量準(zhǔn)確度和靈敏度，膜厚測量靈敏度可達(dá)到0.05nm。

簡單方便安全的儀器操作

用戶只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進(jìn)行高測量設(shè)置。

應(yīng)用:

ETSys-Map-PV適合于高精度要求的薄膜太陽電池研發(fā)和質(zhì)量控制。

ETSys-Map-PV可用于測量大面積的薄膜太陽電池樣品上單層或多層納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數(shù)k；

ETSys-Map-PV可用于測量塊狀材料的折射率n及消光系數(shù)k；

ETSys-Map-PV可應(yīng)用于：

大面積薄膜太陽電池基底的材料測量

薄膜太陽電池玻璃基底上透明導(dǎo)電氧化物（TCO）鍍膜測量

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)型號(hào)	ETSys-Map-PV
結(jié)構(gòu)類型	在線式
激光波長	632.8nm (He-Ne laser)
膜厚測量重復(fù)性（1）	0.05nm (對(duì)于Si基底上99nm的SiO2膜層)
折射率n精度（1）	5x10-4(對(duì)于Si基底上99nm的SiO2膜層)
結(jié)構(gòu)	PSCA
激光光束直徑	~1 mm
入射角度	60°-75°可選
樣品放置	放置方式：水平 運(yùn)動(dòng)：X軸單方向運(yùn)動(dòng) 運(yùn)動(dòng)范圍：>1.4m 三維平移調(diào)節(jié) 二維俯仰調(diào)節(jié) 可對(duì)樣品進(jìn)行掃描測量
樣品臺(tái)尺寸	1.4m*1.1m，并可定制。
測量速度	典型0.6s-4s /點(diǎn)（取決于樣品種類及測量設(shè)置）
大的膜層厚度測量范圍	光滑平面樣品：透明薄膜可達(dá)4000nm，吸收薄膜與材料性質(zhì)相關(guān)
選配件	樣品監(jiān)視系統(tǒng) 自動(dòng)樣品上片系統(tǒng)

注：（1）測量重復(fù)性：是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測量25次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

性能保證

高穩(wěn)定性的He-Ne激光光源、高精度的采樣方法以及低噪聲探測技術(shù)，保證了系統(tǒng)的高穩(wěn)定性和高準(zhǔn)確度

穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、可靠的樣品方位對(duì)準(zhǔn)，結(jié)合的采樣技術(shù)，保證了快速、穩(wěn)定測量

一體化集成式的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得系統(tǒng)操作簡單、整體穩(wěn)定性提高

一鍵式軟件設(shè)計(jì)以及豐富的物理模型庫和材料數(shù)據(jù)庫，方便用戶使用

可選配件：

NFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標(biāo)片

NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標(biāo)片